物理实验

2004, (05) 37-39+41

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基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响
Effect of optical characteristics of substrate on optical transmission spectra of film

余云鹏,林舜辉,黄翀,林璇英

摘要(Abstract):

在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下 ,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正 ,导出了该情况下的透过率公式 .以非晶硅薄膜为研究对象 ,采用模拟计算说明基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响 .

关键词(KeyWords): 薄膜;透过谱;基底

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 余云鹏,林舜辉,黄翀,林璇英

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