基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响Effect of optical characteristics of substrate on optical transmission spectra of film
余云鹏,林舜辉,黄翀,林璇英
摘要(Abstract)：
在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下 ,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正 ,导出了该情况下的透过率公式 .以非晶硅薄膜为研究对象 ,采用模拟计算说明基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响 .
关键词(KeyWords)： 薄膜;透过谱;基底
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作者(Author): 余云鹏,林舜辉,黄翀,林璇英
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DOI:
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