物理实验

2002, (10) 12-16

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四光路透镜成像系统研究
Investigation of lens imaging system with quart-optical path

许世军,任小玲

摘要(Abstract):

针对现有膜厚监控系统的双平行光路系统和监测光直接照射单色仪入射狭缝的结构 ,提出了四光路透镜成像系统 ,同时采用光纤传光 .实验表明它提高了膜厚监控的稳定性和精度 ,并有较高的性能价格比 .此外从理论上对多光路透镜成像系统的设计和调校进行了定量分析 .

关键词(KeyWords): 透镜成像;光纤;光路;调校

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 兵器工业科研基金项目 (编号 2 2 96 82 - 3)

作者(Author): 许世军,任小玲

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