物理实验

2020, v.40;No.361(09) 10-13

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基于斜入射光反射差技术检测微倾角
Detecting micro-inclination based on oblique-incidence reflectivity-difference technique

杨义勤;秦凡凯;孟昭晖;杨颀;李超;苗昕扬;赵昆;詹洪磊;

摘要(Abstract):

利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像.成像结果显示:位置对斜入射光反射差信号产生明显影响,在扫描的0.3mm×0.3mm范围内,2条对角线上的信号变化率分别为81.5%与33.3%.对于上下面存在微倾角的柱状样本,不同位置存在微小厚度差,使得光程发生变化,反射率及反射光相位发生改变,从而改变倍频信号的强度.因此,斜入射光反射差技术可检测材料表面的微倾角.

关键词(KeyWords): 微倾角;斜入射光反射差技术;相位差;光程差

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 杨义勤;秦凡凯;孟昭晖;杨颀;李超;苗昕扬;赵昆;詹洪磊;

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DOI: 10.19655/j.cnki.1005-4642.2020.09.003

参考文献(References):

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